스캔 전기 화학 현미경 시스템 (SECM)
AC 스캐닝 전기화학 현미경 시스템(ac-SECM)
간헐적 접촉 스캐닝 전기화학 현미경 시스템(ic-SECM)
미세 영역 전기화학 임피던스 테스트 시스템(LEIS)
스캔 진동 클릭 테스트 시스템(SVET)
전해액 미세 방울 스캐닝 시스템(SDS)
AC 전해액 미세 방울 스캐닝 시스템(ac-SDS)
켈빈 프로브 테스트 시스템 스캔(SKP)
비터치 마이크로영역 형태 테스트 시스템(OSP)
뛰어난 성능
빠르고 정확한 폐쇄 루프 위치 확인 시스템은 전기 화학 스캐닝 프로브 나노급 연구의 수요를 위해 특별히 설계되었다.Uniscan의 고유한 하이브리드 32-bit DAC 기술과 결합하여 사용자는 실험 연구에 적합한 최적의 구성을 선택할 수 있습니다.
고급 및 유연한 워크플랫폼
시스템은 9가지 탐침 기술을 제공하여 M470을 세계에서 가장 유연한 전기화학 스캐닝 탄진 작업 플랫폼으로 만들 수 있다.
종합적인 액세서리
7가지 모듈, 3가지 서로 다른 전해질, 각종 프로브, 장거리 현미경 및 후처리 데이터 분석 소프트웨어.
470 신제품 특징
SECM 자동 커브 처리
SECM 사용자 정의 처리 커브 단계 변화
고해상도 읽기
수동 또는 자동 위상 조정
470은 다음과 같은 기능과 함께 제공됩니다.
기울기 보정
X 또는 Y 커브 상감(5단계 다항식)
2D 또는 3D 빠른 푸리엽 변화
실험, 프로브 이동 및 영역 드로잉의 자동 정렬
그래픽 실험 시퀀싱 엔진(GESE)
다중 영역 검색 지원
모든 실험 다중 데이터 뷰
피크 분석
M470은 Uniscan 계측기가 개발한 4세대 스캐닝 프로브 시스템으로 더 높은 사양과 더 많은 프로브 기술을 갖추고 있다.
470 기술 매개변수
워크스테이션 (모든 기술)
스캔 범위(x, y, z)가 100mm 이상
스캔 구동 해상도 최대 0.1nm
폐쇄 루프 위치 선형 제로 스태그 인코더, x, z 및 y 변위를 직접 실시간으로 읽습니다.
축 해상도(x, y, z) 20nm
최대 스캔 속도 12.5mm/s
측정 해상도 32-bit 디코더@ 최대 40MHz
압전 (ic- 및 ac- 스캐닝 프로브 기술)
진동 범위 20nm~2μm 봉과 봉 사이 1nm 증가
최소 진동 해상도 0.12nm(16-bit DAC, 4μm)
압전결정 스트레칭 100 μm
포지셔닝 해상도 0.09nm(20-bit DAC, 100μm)
전기 기계
스캔 프런트엔드 500 × 420 × 675mm(H × W × D)
스캔 제어 장치275× 450 × 400mm (H × W × D)
전력250W
