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제품 상세 정보
- 증기압력 감시 기능은 표준 구성으로 암탱크를 교체하는 동안 청소 효율을 검사할 수 있다
- 무게 측정 센서 (옵션) 를 장착하여 암탱크에 남아 있는 액체 총량을 감시할 수 있다
- LU-A1000 시리즈는 컴팩트하게 설계되었으며 통합 가스 시스템을 사용하여 기존 부품에 비해 크기를 크게 줄일 수 있습니다.
- 일상적인 유지 관리 시 간편한 부품 교체
- 탈기기 모듈은 주입 및 구이 응용을 포함한 다양한 기화 시스템에 적합한 표준 구성으로 액체 거품 위험을 줄입니다.
- 보안 표준: SEMI S2/S8/S14, CE 플래그
- 보안 개선: 다양한 모니터링 장치가 완전 자동 제어를 제공합니다.LU-A1000 시리즈에는 자동 긴급 종료 기능이 포함되어 있으며 시스템에 장애가 발생하면 부팅됩니다.
- 조작 가능성 개선: 조작 절차를 완전히 자동화하여 조작 실수를 방지한다.장치 전면의 터치 패널을 통해서도 작동 제어 가능
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